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低温泵在超高真空炉中作用

发布时间:2018-01-22   点击次数:1982次

  将低温泵并入真空系统中,达到清洁的超高真空环境。真空系统的主要配置和注意事项,低温泵的选型计算,安装、使用和维护等环节。通过严格把关各研发环节,按照超高真空规范进行清洗,近年来无油真空泵在半导体行业为代表的领域被引进并广泛应用。

  作为完整的抽气系统,低温泵由两部分组成,主体为真空泵体,第二部分为压缩机。现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵,其核心是低温制冷机。

  抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体,从而抽出大量的气体。这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵,或冷凝泵。是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、将被抽空间的压力降低,而获得真空或维持真空状态的装置。

  选择低温泵的优势有:

  1、抽气范围宽,可快速获得理想的超高真空环境,对被抽气体无选择,杂质颗粒而不影响系统工作;

  2、可以任意角度安装,没有运动部件,不需要前级泵,运行和维护成本低;与口径相同的其它真空泵相比,低温泵有更大的抽速,尤其抽出水蒸汽的能力;

  3、压缩机断水后可以自保护,所以可以实现无人值守。

 


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